蔡司掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)稱掃描電鏡，已成為功能強(qiáng)、用途廣的材料表征工具，已廣泛應(yīng)用于材料，冶金，礦物，生物學(xué)等領(lǐng)域。 在SEM中，電子束以柵網(wǎng)模式掃描樣品。首先，電子槍在鏡筒頂部生成電子。當(dāng)電子的熱能超過(guò)了源材料的功函數(shù)時(shí)，就會(huì)被釋放出來(lái)，然后它們加速向帶有正電荷的陽(yáng)*速移動(dòng)。整個(gè)電子鏡筒必須處于真空狀態(tài)。
蔡司掃描電子顯微鏡是運(yùn)用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分或者晶體結(jié)構(gòu)等)的差異，在電子束作用下通過(guò)試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號(hào)是二次電子、背散射電子或者吸收電子，此中二次電子是主要的成像信號(hào)。高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。
蔡司掃描電子顯微鏡除了可以測(cè)試二次電子圖像之外，還可以測(cè)試背散射電子、透射電子、特征x射線以及陰極發(fā)光等信號(hào)圖像。它的成像原理和二次電子像一樣。在進(jìn)行掃描電子顯微鏡觀察之前，要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。
蔡司掃描電子顯微鏡對(duì)樣品的要求：
首先第一點(diǎn)，不會(huì)被電子束分解；
其次第二點(diǎn)，在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好；
第三點(diǎn)，可以提供導(dǎo)電還有導(dǎo)熱通道；
第四點(diǎn)，大小和厚度要適合使用于樣品臺(tái)的安裝；
第五點(diǎn)，觀察面應(yīng)該清潔并且無(wú)污染物；
第六點(diǎn)，進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)該平整；
最后第七點(diǎn)，磁性試樣要預(yù)先去磁，是為了避免觀察的時(shí)候電子束受到磁場(chǎng)的影響。
