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簡(jiǎn)要描述：波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評(píng)估的X射線熒光分析儀同時(shí)對(duì)各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析。這是一種波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。
產(chǎn)品型號(hào)：WDA 3650廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-04-09訪 問(wèn) 量：1697產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | Rigaku/理學(xué) | 行業(yè)專用類型 | 電子產(chǎn)品 |
|---|---|---|---|
| 元素分析范圍 | 4是~92U | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
| 儀器種類 | 臺(tái)式/落地式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評(píng)估，同時(shí)對(duì)各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析。
這是一種波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)（方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線的影響。4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)（全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。
◆支持微量元素的濃度和成分分析
適用于從輕元素到重元素的各種元素：4是~92U
◆高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-硼
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外，降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
◆X-Y-θ驅(qū)動(dòng)級(jí)
X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測(cè)量薄膜厚度和成分分布。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。
◆應(yīng)用：
?半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4
?摻雜多晶硅（B，P，N，AS），Wsix
?Al-Cu，TiW，TiN、TaN，PZT，BST，SBT
?MRAM
?金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru
?磁盤CoCrTa，CoCrPt，DLC
?NiP
?磁光盤Tb-FeCo
?磁頭GMR，TMR
◆廣泛的固定測(cè)角儀產(chǎn)品陣容
我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測(cè)角儀。我們還在準(zhǔn)備一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。
◆全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)
為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須對(duì)儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備的健康狀況。這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。這就是AutoCal功能。
◆與C-to-C自動(dòng)輸送兼容
除了開放式暗盒外，還支持SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。此外，還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。
◆緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)
主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。無(wú)油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。
同時(shí)評(píng)估薄膜厚度和成分
適用于所有薄膜類型
支持小于200mm的晶圓和介質(zhì)盤
高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性
獲得的XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果
高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）
使用可選的C到C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)
無(wú)油變壓器X射線發(fā)生器
功耗比以前的型號(hào)低23%
產(chǎn)品規(guī)格：
產(chǎn)品名稱 | WDA-3650 |
技術(shù) | 同步波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF） |
用 | 最大200mm晶圓的多層堆疊的厚度和成分 |
科技 | 4kW X射線發(fā)生器，帶XYθ樣品臺(tái)，Rh 陽(yáng)極 WDXRF |
主要成分 | 多達(dá)20個(gè)通道，固定類型（?Be 至 ??U），掃描類型（??Ti 至 ??U） |
選擇 | 靈敏的AD-硼通道，使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn) |
控制（電腦） | 內(nèi)置電腦，微軟視窗®操作系統(tǒng) |
車身尺寸 | 1120（寬）x1450（高）x890（深）毫米 |
質(zhì)量 | 600公斤（主機(jī)） |
權(quán)力 | 三相200VAC 50/60Hz、30A或單相220-230VAC 50/60Hz 40A |
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